Thermo Fisher Scientific Spectra Ultra

Rastertransmissionselektronenmikroskop (STEM)  Spectra Ultra von Thermo Fisher Scientific
© Fraunhofer IMWS / Michael Deutsch
Das Spectra Ultra wird am Fraunhofer IMWS etwa für Fragestellungen aus der Mikroelektronik, Wasserstoff- und Medizintechnik oder zur Charakterisierung optischer Dünnschichten eingesetzt.

Rastertransmissionselektronenmikroskop für die Bildgebung und Spektroskopie strahlungsempfindlicher Materialien

 

Im Spectra Ultra STEM sorgt ein Dreilinsen-Kondensorsystem für stufenlose Einstellbarkeit von Parametern, die im Verbund mit EDXS- und EEL-Spektrometern die chemische Charakterisierung von Materialien ermöglicht, die für die herkömmliche Analysen zu strahlungsempfindlich sind.

Monochromatisierte Elektronenkanone

Eine Hochleistungs-Schottky-Feldemissionskathode ermöglicht zusammen mit einem ultrastabilen Monochromator einem einstellbaren Energieauflösungsbereich zwischen 1 eV und <0,05 eV bei 300 kV und <0,025 eV bei 80 kV.

Säule mit konstanter Leistung

Durch eine intelligente Anordnung der Spulen kann die Beschleunigungsspannung ohne nennenswerte Hysterese umgeschaltet werden, um optimale Untersuchungsbedingungen einzustellen.

Doppeltkorrigierte Elektronenoptik

Ein Korrektorsystem für die sphärische Aberration des Kondensors und ein zweites für die Objektivlinse ermöglichen Subsubnanometerauflösungen in TEM-Abbildung (Informationslimit: < 60 pm) und STEM (Auflösung: <50 pm (entspricht < 0,05 nm) bei 300 kV und >30 pA Sondenstrom).

Voll integriertes EEL-Spektrometer

In Kombination mit einem extrem hochauflösenden Elektronenmonochromator können im Nieder­verlustbereich Bandkanten- und Schwingungsspektroskopie betrieben werden. Durch die Vollintegration ist erstmal der bislang Synchrotron-Beamlines vorbehaltener Hochverlustbereich bis 10 keV Energieverlusten untersuchbar – beides mit Nanometer-Ortsauflösung.

Ultra-X EDX-Detektor der nächsten Generation

Ultra-X bietet eine einzigartige Kombination aus extrem großen Raumwinkel (>4,45 Sr), geringem Untergrundsignal und hoher Zählrate. Ultra-X ist ideal für strahlungsempfindliche Proben und ermöglicht eine STEM-EDX-Analyse mit weniger als der Hälfte der Dosis, die herkömmliche EDX-Detektoren benötigen.

Hoher Durchsatz bei der Untersuchung

Ausgefeilte Software-Automatisierungsroutinen wie OptiSTEM+ und OptiMono+ helfen bei der Justage des Systems zu optimaler Leistungsfähigkeit, was rasch zu wiederholbareren und quantifizierbaren Daten führt.