Rastertransmissionselektronenmikroskop für die Bildgebung und Spektroskopie strahlungsempfindlicher Materialien
Im Spectra Ultra STEM sorgt ein Dreilinsen-Kondensorsystem für stufenlose Einstellbarkeit von Parametern, die im Verbund mit EDXS- und EEL-Spektrometern die chemische Charakterisierung von Materialien ermöglicht, die für die herkömmliche Analysen zu strahlungsempfindlich sind.
Monochromatisierte Elektronenkanone
Eine Hochleistungs-Schottky-Feldemissionskathode ermöglicht zusammen mit einem ultrastabilen Monochromator einem einstellbaren Energieauflösungsbereich zwischen 1 eV und <0,05 eV bei 300 kV und <0,025 eV bei 80 kV.
Säule mit konstanter Leistung
Durch eine intelligente Anordnung der Spulen kann die Beschleunigungsspannung ohne nennenswerte Hysterese umgeschaltet werden, um optimale Untersuchungsbedingungen einzustellen.
Doppeltkorrigierte Elektronenoptik
Ein Korrektorsystem für die sphärische Aberration des Kondensors und ein zweites für die Objektivlinse ermöglichen Subsubnanometerauflösungen in TEM-Abbildung (Informationslimit: < 60 pm) und STEM (Auflösung: <50 pm (entspricht < 0,05 nm) bei 300 kV und >30 pA Sondenstrom).
Voll integriertes EEL-Spektrometer
In Kombination mit einem extrem hochauflösenden Elektronenmonochromator können im Niederverlustbereich Bandkanten- und Schwingungsspektroskopie betrieben werden. Durch die Vollintegration ist erstmal der bislang Synchrotron-Beamlines vorbehaltener Hochverlustbereich bis 10 keV Energieverlusten untersuchbar – beides mit Nanometer-Ortsauflösung.
Ultra-X EDX-Detektor der nächsten Generation
Ultra-X bietet eine einzigartige Kombination aus extrem großen Raumwinkel (>4,45 Sr), geringem Untergrundsignal und hoher Zählrate. Ultra-X ist ideal für strahlungsempfindliche Proben und ermöglicht eine STEM-EDX-Analyse mit weniger als der Hälfte der Dosis, die herkömmliche EDX-Detektoren benötigen.
Hoher Durchsatz bei der Untersuchung
Ausgefeilte Software-Automatisierungsroutinen wie OptiSTEM+ und OptiMono+ helfen bei der Justage des Systems zu optimaler Leistungsfähigkeit, was rasch zu wiederholbareren und quantifizierbaren Daten führt.