Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS
Vorhaben
Ultrahochreines Pentachlordisilan: Technologischer Prozess und Methode zur Spurenanalytik (SilaTrace), Gemeinschaftsvorhaben von PSC und Fraunhofer CSP
Zeitraum
1. November 2018 – 31. Oktober 2021
Projektziel
Hochreines Pentachlordisilan (PCDS) als attraktives Produkt für die Mikroelektronik-Industrie
Für neue Technologiegenerationen in der Mikroelektronik werden innovative Precursoren zur Abscheidung von Siliziumschichten bei sehr niedrigen Temperaturen benötigt.
Entwicklung eines kostengünstigen Herstellungsprozesses
AP 1-5: PSC Polysilane Chemistry GmbH
Bereitstellung einer zuverlässigen Analytik
AP 6-10: Fraunhofer-Center für Silizium-Photovoltaik CSP
Projektleiterin
Dr. Sylke Meyer