Artefaktarme Zielpräparation bedeutet, dass bei der Probenvorbereitung keine unerwünschten Veränderungen wie Risse, Verformungen, Verfestigungen, Verschmierungen oder chemische Reaktionen entstehen, die das Analyseergebnis verfälschen könnten. Durch den Einsatz wasserfreier, physikalisch basierter Präparationstechnologien wie fs-Laser und Ionenstrahlpolitur wird sichergestellt, dass die Probenstruktur in ihrem ursprünglichen Zustand erhalten bleibt. Dies ist insbesondere in der Elektronikindustrie von Bedeutung, da selbst kleinste Fehler an Materialgrenzen die Zuverlässigkeit und Funktion von Bauteilen erheblich beeinträchtigen können.